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基于ePIE的成像透镜透射波前测量方法研究

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摘要

本文提出将ePIE (extended ptychographical iterative engine)用于成像透镜透射波前的高精度测量。将透镜的透射光束照射至一个固定于二维扫描台上的衍射物上,并在其后的探测器上形成衍射光斑,扫描台横向扫描记录衍射物在每个位置所形成的衍射光斑后,入射在衍射物体上的光场复振幅可用ePIE算法精确重建,并据此反演出透镜后表面的透射光波前;移去透镜后重复上述步骤,可以重建入射到透镜上的光束波前;将透射波前减去入射波前即可得到透镜的透射波前。由于采用不需要参考光的共光路系统,因此不仅结构紧凑,而且避免了由非理想参考光束和环境振动引起的误差,该方法具有准确性好、结构简单和成本低廉等优点。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0604003

作者单位:

    江南大学理学院
    江南大学理学院
    江南大学理学院
    江南大学理学院
    江南大学
    江南大学理学院

引用该论文

纵榜铭,栾嘉蕴,蒋志龙,孔艳,王绶玙,刘诚. 基于ePIE的成像透镜透射波前测量方法研究[J].中国激光,2019,46(06):0604003.