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光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计

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摘要

色散物镜是光谱共焦位移传感器的核心部件,其轴向色散与波长之间的线性度会影响系统的分辨率和精度。本文根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,优化选择了N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A三种色散物镜用玻璃材料,并结合像差理论设计出了由三个单透镜和两个双胶合透镜组成的线性色散物镜初始结构。利用ZEMAX光学设计软件对色散物镜初始结构进行了优化和公差分析。结果表明,在450-650nm波长范围内,各波长弥散斑均远小于艾里斑,色散物镜测量范围达1.05mm,轴向色散与波长之间的线性判定系数R2达0.997,理论分辨率可达105nm。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0604001

作者单位:

    中国科学院光电研究院
    中国科学院微电子研究所
    中国科学院微电子研究所
    中国科学院微电子研究所
    中国科学院微电子研究所
    中国科学院微电子研究所
    中国科学院光电研究院
    中国科学院微电子研究所

引用该论文

马敬,齐月静,卢增雄,苏佳妮,杨光华,齐威,张清洋,陈进新. 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计[J].中国激光,2019,46(06):0604001.