首页 > 论文 > 中国激光 > 46卷 > 09期(pp:0902002)

飞秒激光加工碳纳米管薄膜试验研究

  • 摘要
  • 论文信息
  • 参考文献
  • 被引情况
分享:

摘要

采用飞秒激光对碳纳米管薄膜材料进行加工,通过研究飞秒激光蚀除碳纳米管薄膜材料的影响规律,优选打孔、切割加工参数,从而提高对碳纳米管薄膜的加工精度与质量。采用不同的飞秒激光参数(波长、脉冲能量、脉冲数量)加工碳纳米管薄膜微孔,拟合获得不同波长的单脉冲烧蚀阈值。分析了激光参数对材料加工结果的影响规律,结果表明,激光的脉冲能量是影响烧蚀孔径的主要影响因素,波长较短时可以产生更大区域的碳纳米管抛出物面积,飞秒激光中心波长1030nm时烧蚀阈值为25mJ/cm2,波长515nm时烧蚀阈值为39.7mJ/cm2。选择波长515nm的飞秒激光进行碳纳米管薄膜切割的研究,分析了脉冲能量与扫描速度对切割质量的影响规律与原因,最终在优选的工艺参数下加工获得了良好的切割质量。

Newport宣传-MKS新实验室计划
补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0902002

作者单位:

    哈尔滨理工大学
    哈尔滨理工大学
    哈尔滨理工大学

引用该论文

吴雪峰,尹海亮,李. 飞秒激光加工碳纳米管薄膜试验研究[J].中国激光,2019,46(09):0902002.