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基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测

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摘要

为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计分别提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像并合成新的多光谱疵病图像,然后采用OTSU优化方法对单光谱与多光谱疵病图像进行分析和比对。基于该方法搭建了光学元件表面疵病检测装置,获得了白光照明条件下光学元件表面疵病的图像。实验与分析结果表明,与原始白光图像相比,合成多光谱图像的疵病检出数量提升了1.85倍,疵病检出面积最大增加了6.0倍,检测效率和检测结果得到明显提高。根据疵病特性选取不同波长组合来合成单光谱与多光谱疵病图像,可以更高效精确地检测出传统检测技术不易检出的疵病信息。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0904002

作者单位:

    中国科学院上海光学精密仪器研究所信息光学与光电技术实验室
    中科院上海光机所
    中国科学院上海光学精密机械研究所
    中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室
    中科院上海光机所
    中国科学院上海光学精密机械研究所

引用该论文

杨言若,步扬,徐静浩,王少卿,王向朝,李. 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测[J].中国激光,2019,46(09):0904002.