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Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析

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摘要

本文针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时物镜数值孔径内的干涉光路模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解了参考板倾斜时干涉光强积分表达形式,据此通过数值计算定量分析了参考板倾斜对干涉条纹包络、对比度等的影响,并采用宽带光八步移相算法进行了三维形貌复原,据此确定了参考板倾斜误差容限。设计了50×Mirau型干涉显微物镜的参考板倾斜验证结构,实验测量了标准台阶板,验证了仿真分析模型的准确性,确定了50×干涉显微物镜中参考板倾斜量误差容限为1.5°。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0904001

作者单位:

    南京理工大学电子工程与光电技术学院
    南京理工大学电子工程与光电技术学院
    南京理工大学电子工程与光电技术学院
    南京理工大学电子工程与光电技术学院
    南京理工大学电子工程与光电技术学院
    南京理工大学电子工程与光电技术学院

引用该论文

胡捷,袁群,于颢彪,王帅,孙一峰,高志. Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析[J].中国激光,2019,46(09):0904001.