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基于衍射重叠相位恢复术的平面偏振双折射测量方法

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摘要

传统的平面偏光仪因结构简单而被广泛用于双折射样品的定性分析。然而由于计算时难以将相位延迟量与方位角分离开来,平面偏光仪很难用于定量测量。基于衍射重叠相位恢复术(ptychographic iterative engine,英文缩写PIE),提出了一种新的平面偏振双折射测量方法。利用PIE测量方法,将样品在两种不同偏振状态下形成的暗场探测光复振幅重建出来,并分别从探测光相位及复振幅之比中将相位延迟量及方位角简单准确地提取出来,实现了双折射样品的二维定量测量。采用双折射分辨率靶对所提方法进行实验验证,所得结果与分辨率靶实际分布完全相符,相位延迟量最大误差不超过23.9nm,方位角误差为0.49°。该方法结构简单,解决了传统平面偏光仪无法实现定量双折射测量的难题,同时减少了PIE扫描的次数,缩短了数据采集及处理流程,为大口径光学器件的双折射检测提供了一种实用方法。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.1204003

作者单位:

    中国科学院上海光学精密机械研究所
    中国科学院上海光学精密机械研究所
    中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室
    本所

引用该论文

程北,张雪洁,刘诚,朱健强. 基于衍射重叠相位恢复术的平面偏振双折射测量方法[J].中国激光,2019,46(12):1204003.