基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法研究光束传输与控制
1 中国科学院上海光学精密机械研究所
2 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
3 中科院上海光学精密机械研究所
4 上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
自由光瞳照明技术是28 nm及以下节点浸没光刻机中一种重要的光刻分辨率增强技术,其通过微反射镜阵列(MMA)调整光束的角谱来实现任意照明模式, MMA角位置分布对自由光瞳照明技术的应用具有重要的意义。本文提出了基于遗传算法的MMA角位置分布算法,该算法相比基于模拟退火算法的MMA角位置分布算法,迭代速度提高了10倍以上,并且该算法得到的MMA角位置分布可精确复现目标光瞳强度分布。光刻性能仿真结果表明,对数千种光刻胶曝光图形,算法光瞳和目标光瞳的光刻胶曝光图形不对称性分布的RMS值基本一致,关键尺寸差异分布RMS值均小于0.5 nm。
曾宗顺, 张方, 牛志元, 马晓喆, 朱思羽, 黄惠杰. 基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法研究[J]. 中国激光, 2020, 47(08): 3.
DOI:10.3788/cjl202047.08光束传输与控制03