摘要

根据亚波长结构对光场的调控作用，研制单层金属线栅偏振元件。利用等效介质和严格耦合波理论（RCWA）确定结构参数，使用有限时域差分法（FDTD）优化设计Si基底Al金属线栅结构；并通过多层减反射膜与金属线栅结构相匹配，降低基底剩余反射率，提高TM波透过率。采用间歇镀Al法降低辐射温度所导致的胶栅形变，制备了具有高偏振性能的亚波长元件。经测试，所制备的线栅偏振元件在中波红外3-5μm波段，TM波透过率为89.1%，消光比为21.9dB。

补充资料

DOI：10.3788/cjl202148.0903002

作者单位：

引用该论文

付秀华,林晓敏,张功,王野,张静. 红外宽波段亚波长金属线栅偏振元件的研制[J].中国激光,2021,48(09):0903002.