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红外宽波段亚波长金属线栅偏振元件的研制 [Early Posting]

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摘要

根据亚波长结构对光场的调控作用,研制单层金属线栅偏振元件。利用等效介质和严格耦合波理论(RCWA)确定结构参数,使用有限时域差分法(FDTD)优化设计Si基底Al金属线栅结构;并通过多层减反射膜与金属线栅结构相匹配,降低基底剩余反射率,提高TM波透过率。采用间歇镀Al法降低辐射温度所导致的胶栅形变,制备了具有高偏振性能的亚波长元件。经测试,所制备的线栅偏振元件在中波红外3-5μm波段,TM波透过率为89.1%,消光比为21.9dB。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl202148.0903002

作者单位:

    长春理工大学
    长春理工大学
    长春理工大学 光电工程学院
    长春理工大学
    长春理工大学 光电工程学院

引用该论文

付秀华,林晓敏,张功,王野,张静. 红外宽波段亚波长金属线栅偏振元件的研制[J].中国激光,2021,48(09):0903002.