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KDP晶体元件晶轴角度的精密校正 [Early Posting]

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摘要

大型激光装置要求KDP (Potassium Dihydrogen Phosphate,KH2PO4)晶体在加工阶段进行高精度定轴,以降低后续装调难度、提升批量装调效率,为此在加工阶段提出在位检测反馈及多次调节逼近的晶轴角度校正策略,从原理上避免了校正精度严重依赖调节工装精度、重复装夹误差大、机床直线度引入误差等问题,并且为提升晶轴角度的校正效率研制了电动控制的高精度吸盘角度调节工装,解决了校正角度大、精度要求高的难题。验证结果表明:采用研制的高精度吸盘角度调节工装,经过3轮次的迭代可以将晶轴角度误差从(2~4)mrad快速收敛至20μrad以内,满足大型激光装置的要求,进一步分析表明该策略的校正精度仅取决于测头移动长度及测试精度,且元件口径越大、测量精度越高,校正精度越高,因此特别适用于大口径KDP晶体元件的晶轴角度的精密校正。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl202148.0901006

作者单位:

    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
    成都精密光学工程研究中心
    成都精密光学工程研究中心
    激光聚变研究中心

引用该论文

张帅,金波佳,王翔峰,雷向阳,王健,许乔. KDP晶体元件晶轴角度的精密校正[J].中国激光,2021,48(09):0901006.