液晶与显示, 2017, 32 (7): 518, 网络出版: 2017-11-21
RIE模式干法刻蚀ADS产品铝腐蚀改善研究
Improvement of aluminum corrosion of ADS products by RIE etching mode dry etching
基本信息
DOI: | 10.3788/yjyxs20173207.0518 |
中图分类号: | TN141.9 |
栏目: | 材料科学 |
项目基金: | 京东方研发基金 |
收稿日期: | 2017-03-08 |
修改稿日期: | 2017-04-10 |
网络出版日期: | 2017-11-21 |
通讯作者: | 蒋会刚 (jianghuigang@boe.com.cn) |
备注: | -- |
蒋会刚, 高建剑, 王晏酩, 赵海生, 王辉, 吴超. RIE模式干法刻蚀ADS产品铝腐蚀改善研究[J]. 液晶与显示, 2017, 32(7): 518. JIANG Hui-gang, GAO Jian-jian, WANG Yan-ming, ZHAO Hai-sheng, WANG Hui, WU Chao. Improvement of aluminum corrosion of ADS products by RIE etching mode dry etching[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(7): 518.