光学学报, 1998, 18 (12): 1721, 网络出版: 2006-10-18   

光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究

Response of Optic profiler to Spatial Wavelength of Optical Element Surface
作者单位
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
引用该论文

徐德衍, 沈卫星, 林尊琪. 光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究[J]. 光学学报, 1998, 18(12): 1721.

徐德衍, 沈卫星, 林尊琪. Response of Optic profiler to Spatial Wavelength of Optical Element Surface[J]. Acta Optica Sinica, 1998, 18(12): 1721.

参考文献

[1] 徐德衍,林尊琪. 光学表面粗糙度研究的进展与方向Ⅰ. 光学仪器, 1996, 18(1): 32~37

[2] 徐德衍,林尊琪. 光学表面粗糙度研究的进展与方向Ⅱ. 光学仪器, 1996, 18(2): 35~40

[3] Jean M. Bennett. Recent developments in surface roughness characterization. Engng. Opt., 1993, 6(1): 1~9

[4] E. L. Church, P. E. Takacs. Instrumental effects in surface finish measurement. Proc. SPIE, 1988, 1009: 46~55

[5] P. E. Takacs, E. L. Church. A step-height standard for surface profiler calibration. Proc. SPIE, 1993, 1995: 235~244

[6] 中华人民共和国国家标准GB/T 1031-95, 北京: 中国标准出版社,1996. 1~3

徐德衍, 沈卫星, 林尊琪. 光学轮廓仪对光学元件表面空间波长回应的研究[J]. 光学学报, 1998, 18(12): 1721. 徐德衍, 沈卫星, 林尊琪. Response of Optic profiler to Spatial Wavelength of Optical Element Surface[J]. Acta Optica Sinica, 1998, 18(12): 1721.

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