光学学报, 2002, 22 (4): 452, 网络出版: 2006-08-08
偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用
Application of Conoscopic Interference in Geometric Profilometry
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN206 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(50075064)资助课题. |
| 收稿日期: | 2000-11-27 |
| 修改稿日期: | 2001-04-24 |
| 网络出版日期: | 2006-08-08 |
| 通讯作者: | 高翔 (xg@eyou.com) |
| 备注: | -- |
高翔, 张国雄, 李真. 偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用[J]. 光学学报, 2002, 22(4): 452. 高翔, 张国雄, 李真. Application of Conoscopic Interference in Geometric Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2002, 22(4): 452.
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