激光与光电子学进展, 1986, 23 (9): 46, 网络出版: 2013-07-26
用TEA CO2激光器进行集成电路标记
摘要
在拉斯维加斯召幵的年激光会议上，东芝公司介绍了一种标记塑料集成电路组件的TEA CO2激光器的最佳设计。为了标记声响集成电路组件，东芝工厂安装了20台这样的标记设备。该装置与组件处理组装在一起。全套成本约100000美元。视电学检验时间的不同，每台装置每月可处理5~10000000个集成电路组件。
Abstract
尹宪华. 用TEA CO2激光器进行集成电路标记[J]. 激光与光电子学进展, 1986, 23(9): 46. 尹宪华. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1986, 23(9): 46.
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