激光与光电子学进展, 1971, 8 (8): 37, 网络出版: 2013-08-28
激光器在微电子学中的应用展望
摘要
激光器开始时是“找问题来解决”,今天则是正在用来完成各种各样的生产任务。二氧化碳激光器用来进行陶瓷的刻划和打孔;纪铝石榴石激光器用来精调电阻值以及刻划薄的硅片。
Abstract
N/A. 激光器在微电子学中的应用展望[J]. 激光与光电子学进展, 1971, 8(8): 37. N/A. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1971, 8(8): 37.