Research on VOx uncooled infrared bolometer based on porous silicon | Frontiers of Optoelectronics -- 中国光学期刊网

Frontiers of Optoelectronics, 2012, 5 (3): 292, 网络出版: 2012-10-12

Research on VO_x uncooled infrared bolometer based on porous silicon

Research on VO_x uncooled infrared bolometer based on porous silicon

Bin WANG ^1,2Jianjun LAI ^1,2,*Erjing ZHAO ¹Haoming HU ¹Sihai CHEN ^1,2

作者单位

¹ School of Optoelectronic Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China

² Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Wuhan 430074, China

infrared (IR) porous silicon microbolometer micromachining

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