激光杂志, 2008, 29 (2): 66, 网络出版: 2008-08-17
一种提高悬臂粱振动参数测量技术的研究
Study on vibration characteristic of cantilever in MEMS
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN248.1 |
栏目: | 光全息与信息处理 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2007-12-22 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2008-08-17 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
唐朝伟, 何国田, 曾毅, 傅明怡, 赵丽娟, 李小龙, 胡军. 一种提高悬臂粱振动参数测量技术的研究[J]. 激光杂志, 2008, 29(2): 66. 唐朝伟, 何国田, 曾毅, 傅明怡, 赵丽娟, 李小龙, 胡军. Study on vibration characteristic of cantilever in MEMS[J]. LaserJournal, 2008, 29(2): 66.