光学 精密工程, 2004, 12 (z1): 1, 网络出版: 2006-11-03  

磁悬浮转子微陀螺的设计技术

Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor
作者单位
1 上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030
2 上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微?讣际踅逃恐氐闶笛槭?微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030
基本信息
DOI: --
中图分类号: O318
栏目: 微纳科学与技术
项目基金: 国家863项目(2002AA745120)、上海市科委上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目--"先进惯性传感器"
收稿日期: 2004-02-22
修改稿日期: 2004-04-16
网络出版日期: 2006-11-03
通讯作者:
备注: --

张卫平, 陈文元, 吴校生, 赵小林, 崔峰, 黄晓刚, 刘武. 磁悬浮转子微陀螺的设计技术[J]. 光学 精密工程, 2004, 12(z1): 1. 张卫平, 陈文元, 吴校生, 赵小林, 崔峰, 黄晓刚, 刘武. Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor[J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(z1): 1.

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