光学 精密工程, 2009, 17 (8): 1915, 网络出版: 2009-10-28   

高性能电磁式微机械振动环陀螺

High performance electromagnetic micro-machined ring vibration gyroscope
作者单位
中国科学院 电子学研究所 传感技术国家重点实验室,北京 100190
引用该论文

陈李, 陈德勇, 王军波, 毋正伟, 张明. 高性能电磁式微机械振动环陀螺[J]. 光学 精密工程, 2009, 17(8): 1915.

CHEN Li, CHEN De-yong, WANG Jun-bo, WU Zheng-wei, ZHANG Ming. High performance electromagnetic micro-machined ring vibration gyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(8): 1915.

引用列表
1、 谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装光学 精密工程, 2014, 22 (5): 1235
2、 基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器光学 精密工程, 2011, 19 (12): 2927
3、 利用负刚度效应调谐的硅调谐式陀螺仪光学 精密工程, 2010, 18 (11): 2398

陈李, 陈德勇, 王军波, 毋正伟, 张明. 高性能电磁式微机械振动环陀螺[J]. 光学 精密工程, 2009, 17(8): 1915. CHEN Li, CHEN De-yong, WANG Jun-bo, WU Zheng-wei, ZHANG Ming. High performance electromagnetic micro-machined ring vibration gyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(8): 1915.

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