激光与光电子学进展, 1987, 24 (5): 24, 网络出版: 2013-07-17
用新方法测量薄膜厚度
摘要
把薄膜用于光学元件的基本物理思想几十年前就已众所周知。但在激光出现以前,多数薄膜是比较简单的，它们是单层防反射涂层或具有高、低折射率的1/4波片的简单堆迭。但随着激光的出现，薄膜变得前所未有的复杂。在过去二十年中，特定波长处的高反射率能经受非激光工作方式的大光通量，较严格的通带规范的限制等都是镀膜工作者所面临的困难。新的基底材料需有适当折射率的新镀膜材料。基底和镀膜材料要有极高的纯度。制造这种高度复杂薄膜是很困难的，薄膜光学特性的测量也很困难。
Abstract
侯印春. 用新方法测量薄膜厚度[J]. 激光与光电子学进展, 1987, 24(5): 24. 侯印春. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1987, 24(5): 24.
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