激光与光电子学进展, 1983, 20 (9): 45, 网络出版: 2013-07-26
用激光使化学蚀刻高速化
摘要
日本电信电话公司武芷野电气通信研究所发明了激光和化学蚀刻相结合的“激光复合化学蚀刻法”。这种方法是把激光照射在涂着蚀刻液的试样上,使蚀刻速度提高。已经证实，蚀刻速度是原来的10~1万倍,而且也要比只使用激光加工能够得到更好的形状。
Abstract
司舜英. 用激光使化学蚀刻高速化[J]. 激光与光电子学进展, 1983, 20(9): 45. 司舜英. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1983, 20(9): 45.
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