X光显微成像测试技术应用于LTCC流延片激光打孔的研究

冯子琪; 陈虹; 何凤玺; 杨桂栓; 陈涛

doi:doi:10.14128/j.cnki.al.20173702.256

应用激光, 2017, 37 (2): 256, 网络出版: 2017-06-08

X光显微成像测试技术应用于LTCC流延片激光打孔的研究

Study on X-ray Microscopic Imaging and Measuring Technique Applied in Laser Drilling Micro-hole on the LTCC Cast films

冯子琪 ^*陈虹何凤玺杨桂栓陈涛

作者单位

北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124

补充材料

冯子琪, 陈虹, 何凤玺, 杨桂栓, 陈涛. X光显微成像测试技术应用于LTCC流延片激光打孔的研究[J]. 应用激光, 2017, 37(2): 256. Feng Ziqi, Chen Hong, He Fengxi, Yang Guishuan, Chen Tao. Study on X-ray Microscopic Imaging and Measuring Technique Applied in Laser Drilling Micro-hole on the LTCC Cast films[J]. APPLIED LASER, 2017, 37(2): 256.