激光与光电子学进展, 1985, 22 (9): 48, 网络出版: 2013-07-26
用于薄膜器件的超纯室设备
摘要
美国巴特耳纪念学院哥伦布分部建立了一套超净室设备，可以用来研制技术要求很高的微型元件和器件。这套设备能使公司扩大设计研究、制造和评价微型光学元件、薄膜和机械装置。
Abstract
季叶克. 用于薄膜器件的超纯室设备[J]. 激光与光电子学进展, 1985, 22(9): 48. 季叶克. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1985, 22(9): 48.
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