斜入射法检测平面反射镜的面形误差

马春桃; 罗红心; 王劼; 宋丽

doi:doi:10.3788/lop48.071201

激光与光电子学进展, 2011, 48 (7): 071201, 网络出版: 2011-05-09

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Surface Error Measurement of Plane Mirrors Based on Oblique Incidence

马春桃 ^*罗红心王劼宋丽

作者单位

中国科学院上海应用物理研究所,上海光源, 上海 201204

基本信息

DOI:	10.3788/lop48.071201
中图分类号:	TH741
栏目:	仪器，测量与计量
项目基金:	--
收稿日期:	2011-02-24
修改稿日期:	2011-03-02
网络出版日期:	2011-05-09
通讯作者:	马春桃 (machuntao@sinap.an.cn)
备注:	--

马春桃, 罗红心, 王劼, 宋丽. 斜入射法检测平面反射镜的面形误差[J]. 激光与光电子学进展, 2011, 48(7): 071201. Ma Chuntao, Luo Hongxin, Wang Jie, Song Li. Surface Error Measurement of Plane Mirrors Based on Oblique Incidence[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2011, 48(7): 071201.