激光与光电子学进展, 1985, 22 (4): 45, 网络出版: 2013-07-26
激光管材表面检查装置
摘要
三菱电机公司最近研制成功一种采用氦氖激光束对被检物表面的圆周方向高速扫描,且借助反射光将缺陷检出,判定被检物质量好坏的非接触型表面检查装置。
Abstract
张抚安. 激光管材表面检查装置[J]. 激光与光电子学进展, 1985, 22(4): 45. 张抚安. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1985, 22(4): 45.