CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究

王鹏; 张凤林; 刘文广; 欧阳承达

doi:doi:10.3788/lop53.111402

激光与光电子学进展, 2016, 53 (11): 111402, 网络出版: 2016-11-14

CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究

Experimental Study on Laser Processing Arrayed Conical Micro-Holes of CVD Diamond Films

王鹏 ^*张凤林刘文广欧阳承达

作者单位

广东工业大学机电工程学院, 广东广州 510006

补充材料

王鹏, 张凤林, 刘文广, 欧阳承达. CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究[J]. 激光与光电子学进展, 2016, 53(11): 111402. Wang Peng, Zhang Fenglin, Liu Wenguang, Ouyang Chengda. Experimental Study on Laser Processing Arrayed Conical Micro-Holes of CVD Diamond Films[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2016, 53(11): 111402.