光谱学与光谱分析, 2020, 40 (8): 2647, 网络出版: 2020-08-12
提高红外微测辐射热计光谱吸收率的金属光栅结构研究
Study on Metal Grating Structure for Improving Spectral Absorptivity of Infrared Microbolometer
基本信息
| DOI: | 10.3964/j.issn.1000-0593(2020)08-2647-04 |
| 中图分类号: | Q433.1 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金项目(61575029), 辽宁省高等学校创新人才支持计划项目（LR2017051）资助 |
| 收稿日期: | 2019-07-04 |
| 修改稿日期: | 2019-11-19 |
| 网络出版日期: | 2020-08-12 |
| 通讯作者: | 张宇峰 (zyf81@aliyun.com) |
| 备注: | -- |
张宇峰, 王洋, 吴元庆, 戴景民. 提高红外微测辐射热计光谱吸收率的金属光栅结构研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2020, 40(8): 2647. ZHANG Yu-feng, WANG Yang, WU Yuan-qing, DAI Jing-min. Study on Metal Grating Structure for Improving Spectral Absorptivity of Infrared Microbolometer[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2020, 40(8): 2647.
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