数字微镜器件的远场焦斑测量方法

李铭; 袁索超; 李红光; 达争尚

doi:doi:10.3788/irla201847.1217001

红外与激光工程, 2018, 47 (12): 1217001, 网络出版: 2019-01-10

数字微镜器件的远场焦斑测量方法

Far-field focal spot measurement based on DMD

李铭 ^1,2袁索超 ^1,2李红光 ¹达争尚 ¹

作者单位

¹ 中国科学院西安光学精密机械研究所, 陕西西安 710119

² 中国科学院大学, 北京 100049

基本信息

DOI:	10.3788/irla201847.1217001
中图分类号:	TN247
栏目:	光电测量
项目基金:	中国科学院国防重点实验室基金(Y629941213)
收稿日期:	2018-07-05
修改稿日期:	--
网络出版日期:	2019-01-10
通讯作者:
备注:	--

李铭, 袁索超, 李红光, 达争尚. 数字微镜器件的远场焦斑测量方法[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(12): 1217001. Li Ming, Yuan Suochao, Li Hongguang, Da Zhengshang. Far-field focal spot measurement based on DMD[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(12): 1217001.