应用光学, 2016, 37 (2): 297, 网络出版: 2016-04-12   

MOCVD原位红外测温方法的比较研究

Comparative study on in situ infrared thermometry methods of MOCVD
作者单位
1 商洛学院 化学工程与现代材料学院, 陕西 商洛 726000
2 陕西省尾矿资源综合利用重点实验室, 陕西 商洛 726000
3 南昌大学 国家硅基LED工程技术研究中心, 江西 南昌 330047
基本信息
DOI: 10.5768/jao201637.0206002
中图分类号: TN305;TN307
栏目: 红外技术
项目基金: 国家863高科技研究发展计划资助项目(2011AA03A101)、陕西省尾矿资源综合利用重点实验室开放基金项目(2014SKY-WK012)
收稿日期: 2015-09-21
修改稿日期: 2015-11-06
网络出版日期: 2016-04-12
通讯作者: 杨超普 (1754510624@qq.com)
备注: --

杨超普, 方文卿, 刘明宝, 周春生, 张美丽. MOCVD原位红外测温方法的比较研究[J]. 应用光学, 2016, 37(2): 297. Yang Chaopu, Fang Wenqing, Liu Mingbao, Zhou Chunsheng, Zhang Meili. Comparative study on in situ infrared thermometry methods of MOCVD[J]. Journal of Applied Optics, 2016, 37(2): 297.

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