中国光学, 2017, 10 (4): 391, 网络出版: 2017-08-30   

点衍射干涉检测技术

Point diffraction in terference detection technology
作者单位
浙江大学 光电科学与工程学院 现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027
引用该论文

李瑶, 杨甬英, 王晨, 陈元恺, 陈晓钰. 点衍射干涉检测技术[J]. 中国光学, 2017, 10(4): 391.

LI Yao, YANG Yong-ying, WANG Chen, CHEN Yuan-kai, CHEN Xiao-yu. Point diffraction in terference detection technology[J]. Chinese Optics, 2017, 10(4): 391.

引用列表
1、 光刻物镜波像差绝对检测技术综述光电工程, 2023, 50 (5): 220001
2、 深度学习点衍射干涉三维坐标定位技术红外与激光工程, 2023, 52 (2): 20220593
3、 双光纤点衍射干涉投影系统误差校正及优化红外与激光工程, 2022, 51 (3): 20210140
4、 反射式偏振相移动态点衍射干涉技术的研究中国激光, 2020, 47 (10): 1004003
5、 利用图像翻转和复域编码的离轴干涉载频消除红外与激光工程, 2019, 48 (10): 1013004
6、 用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪光学 精密工程, 2018, 26 (12): 2873
7、 线性调频激光外差技术测量磁致伸缩系数红外与激光工程, 2018, 47 (12): 1217002
8、 3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试红外与激光工程, 2018, 47 (8): 817005

李瑶, 杨甬英, 王晨, 陈元恺, 陈晓钰. 点衍射干涉检测技术[J]. 中国光学, 2017, 10(4): 391. LI Yao, YANG Yong-ying, WANG Chen, CHEN Yuan-kai, CHEN Xiao-yu. Point diffraction in terference detection technology[J]. Chinese Optics, 2017, 10(4): 391.

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