光学 精密工程, 2008, 16 (9): 1727, 网络出版: 2010-02-28
尺蠖型压电驱动器的闭环控制
Close-loop control of inchworm-type piezoelectric actuator
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN384 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA423150)、国家自然科学基金资助项目(No.50475010)、高等学校博士点专项科研基金资助项目(No.20050183020) |
收稿日期: | 2008-03-11 |
修改稿日期: | 2008-04-22 |
网络出版日期: | 2010-02-28 |
通讯作者: | 赵宏伟 (Zhaohongwei_jlu@yahoo.com) |
备注: | -- |
赵宏伟, 杨志刚, 范尊强, 张志宇, 吴博达, 程光明. 尺蠖型压电驱动器的闭环控制[J]. 光学 精密工程, 2008, 16(9): 1727. ZHAO Hong-wei, YANG Zhi-gang, FAN Zun-qiang, ZHANG Zhi-yu, WU Bo-da, CHENG Guang-ming. Close-loop control of inchworm-type piezoelectric actuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(9): 1727.