激光与光电子学进展, 1985, 22 (9): 44, 网络出版: 2013-07-26
用激光装置检验晶片
摘要
美国VTI公司已经报道了硅晶片和砷化镓晶片残余晶体缺陷检验方面的突破。这个公司化了十七年时间研究超平表面光学元件的测量和制造，并且发展了一种能非破坏测量极平表面的激光装置，这种极平表面用现有技术是无法检验的。
Abstract
毛伟民. 用激光装置检验晶片[J]. 激光与光电子学进展, 1985, 22(9): 44. 毛伟民. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1985, 22(9): 44.
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