皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证

金方圆; 陈波; 鄂书林; 王海峰; 李云鹏; 邢妍

doi:doi:10.3788/fgxb20143506.0754

发光学报, 2014, 35 (6): 754, 网络出版: 2014-06-10

皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证

Theory Analysis and Experiment Verification on Picosecond Laser Ablation of Al Film

金方圆 ^1,2,*陈波 ¹鄂书林 ¹王海峰 ¹李云鹏 ^1,2邢妍 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春130033

² 中国科学院大学, 北京100049

补充材料

金方圆, 陈波, 鄂书林, 王海峰, 李云鹏, 邢妍. 皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证[J]. 发光学报, 2014, 35(6): 754. JIN Fang-yuan, CHEN Bo, E Shu-lin, WANG Hai-feng, LI Yun-peng, XING Yan. Theory Analysis and Experiment Verification on Picosecond Laser Ablation of Al Film[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2014, 35(6): 754.