激光与光电子学进展, 1988, 25 (2): 44, 网络出版: 2013-07-17
能测1纳米的表面形状检查显微镜
摘要
日本奥林巴斯光学工业公司研制成测定半导体等表面精度达ι纳米的超髙灵敏度、采用激光检测方式的精细表面形状检查“ZP-100”显微镜。
Abstract
张抚安. 能测1纳米的表面形状检查显微镜[J]. 激光与光电子学进展, 1988, 25(2): 44. 张抚安. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1988, 25(2): 44.