新型集成光杨氏干涉计传感器的研制

赵书凯; 陈方; 祁志美

doi:doi:10.3788/cjl20103703.0819

中国激光, 2010, 37 (3): 819, 网络出版: 2010-03-11

新型集成光杨氏干涉计传感器的研制

Fabrication of Novel Integrated Optical Young Interferometer Sensor

赵书凯 ^*陈方祁志美

作者单位

中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室,北京 100190

补充材料

赵书凯, 陈方, 祁志美. 新型集成光杨氏干涉计传感器的研制[J]. 中国激光, 2010, 37(3): 819. Zhao Shukai, Chen Fang, Qi Zhimei. Fabrication of Novel Integrated Optical Young Interferometer Sensor[J]. Chinese Journal of Lasers, 2010, 37(3): 819.