XeCl准分子激光光束均匀器及其应用

高鸿奕; 楼祺洪; 董景星; 宁东; 魏运荣; 叶震寰

光学学报, 1996, 16 (10): 1379, 网络出版: 2006-12-04

XeCl准分子激光光束均匀器及其应用

Beam Homogenizer for XeCl Excimer Laser and Its Applications

高鸿奕楼祺洪董景星宁东魏运荣叶震寰

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800

引用该论文

高鸿奕, 楼祺洪, 董景星, 宁东, 魏运荣, 叶震寰. XeCl准分子激光光束均匀器及其应用[J]. 光学学报, 1996, 16(10): 1379.

高鸿奕, 楼祺洪, 董景星, 宁东, 魏运荣, 叶震寰. Beam Homogenizer for XeCl Excimer Laser and Its Applications[J]. Acta Optica Sinica, 1996, 16(10): 1379.

参考文献

高鸿奕, 楼祺洪, 董景星, 宁东, 魏运荣, 叶震寰. XeCl准分子激光光束均匀器及其应用[J]. 光学学报, 1996, 16(10): 1379. 高鸿奕, 楼祺洪, 董景星, 宁东, 魏运荣, 叶震寰. Beam Homogenizer for XeCl Excimer Laser and Its Applications[J]. Acta Optica Sinica, 1996, 16(10): 1379.