大口径低分辨率干涉图的3维形貌还原方法

温承华; 黄磊; 张海涛; 邱运涛; 巩马理

激光技术, 2011, 35 (2): 214, 网络出版: 2011-03-10

大口径低分辨率干涉图的3维形貌还原方法

A method to restore 3-D surface of large area and low resolution interferogram

温承华黄磊张海涛邱运涛巩马理 ^*

作者单位

清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室光子与电子研究中心, 北京 100084

补充材料

温承华, 黄磊, 张海涛, 邱运涛, 巩马理. 大口径低分辨率干涉图的3维形貌还原方法[J]. 激光技术, 2011, 35(2): 214. WEN Cheng-hua, HUANG Lei, ZHANG Hai-tao, QIU Yun-tao, GONG Ma-li. A method to restore 3-D surface of large area and low resolution interferogram[J]. Laser Technology, 2011, 35(2): 214.