激光与光电子学进展, 1977, 14 (9): 38, 网络出版: 2013-08-13
光波干涉坐标测量仪
摘要
近几年来随着集成电路工业的发展，掩模制造和检测需要对坐标进行髙精度测量。随着从集成电路到大规模集成电路技术的进步，要求测量精度高于±0.3微米。本文先介绍有关激光干涉坐标测量仪的主要组成部分，然后概述其自动化现状。
Abstract
忻华泰. 光波干涉坐标测量仪[J]. 激光与光电子学进展, 1977, 14(9): 38. 忻华泰. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1977, 14(9): 38.
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