激光与光电子学进展, 1989, 26 (8): 48, 网络出版: 2013-06-21
原子级光洁度测定装置
摘要
日本神户制钢所与兵库县立工业试验场合作,在日本国内率先推出光学式光洁度测定装置,它能测定原子大小的表面凹凸。与过去的测定装置相比,测试更为简单,可用计算机自动修正台面振动等产生的影响。
Abstract
思源. 原子级光洁度测定装置[J]. 激光与光电子学进展, 1989, 26(8): 48. 思源. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1989, 26(8): 48.