光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除

项震; 聂传继; 葛剑虹; 侯晶; 许乔

强激光与粒子束, 2007, 19 (3): 373, 网络出版: 2007-09-17

光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除

Eliminating of subsurface damage structure

项震 ¹聂传继 ¹葛剑虹 ¹侯晶 ²许乔 ²

作者单位

¹ 浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027

² 成都精密光学工程研究中心,成都,610041

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	TN244
栏目:	高功率激光与光学
项目基金:	国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金资助课题(10476025)
收稿日期:	2006-03-17
修改稿日期:	2007-01-31
网络出版日期:	2007-09-17
通讯作者:
备注:	--

项震, 聂传继, 葛剑虹, 侯晶, 许乔. 光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(3): 373. 项震, 聂传继, 葛剑虹, 侯晶, 许乔. Eliminating of subsurface damage structure[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(3): 373.