超快激光微构造硅的研究与应用

陈长水; 何慧丽; 李江华; 刘颂豪

doi:doi:10.3788/lop49.030003

激光与光电子学进展, 2012, 49 (3): 030003, 网络出版: 2012-01-11

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The Research and Application of Ultrafastlaser Microstructured Silicon

陈长水 ^*何慧丽李江华刘颂豪

作者单位

华南师范大学信息光电子科技学院, 广东广州 510631

引用该论文

陈长水, 何慧丽, 李江华, 刘颂豪. 超快激光微构造硅的研究与应用[J]. 激光与光电子学进展, 2012, 49(3): 030003.

Chen Changshui, He Huili, Li Jianghua, Liu Songhao. The Research and Application of Ultrafastlaser Microstructured Silicon[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2012, 49(3): 030003.

引用列表

1、飞秒激光制备掺杂黑硅及其应用进展激光与光电子学进展, 2015, 52 (10): 100005

2、飞秒激光对硅表面微构造的研究进展激光与光电子学进展, 2013, 50 (11): 110002

3、飞秒激光与准分子激光制作碲掺杂硅探测器中国激光, 2013, 40 (3): 302001

4、飞秒与纳秒激光刻蚀单晶硅对比研究中国激光, 2013, 40 (1): 103003

陈长水, 何慧丽, 李江华, 刘颂豪. 超快激光微构造硅的研究与应用[J]. 激光与光电子学进展, 2012, 49(3): 030003. Chen Changshui, He Huili, Li Jianghua, Liu Songhao. The Research and Application of Ultrafastlaser Microstructured Silicon[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2012, 49(3): 030003.

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