中国激光, 2016, 43 (3): 0308002, 网络出版: 2016-03-04  

高精度深紫外光学透射率测量装置的研制

Development of Device for High-Precision Deep Ultraviolet Optical Transmittance Measurement
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
基本信息
DOI: 10.3788/cjl201643.0308002
中图分类号: TH741;TN23;TH247
栏目: 测量与计量
项目基金: --
收稿日期: 2015-08-17
修改稿日期: 2015-10-12
网络出版日期: 2016-03-04
通讯作者: 陈明 (chenming@siom.ac.cn)
备注: --

陈明, 谢承科, 杨宝喜, 黄惠杰. 高精度深紫外光学透射率测量装置的研制[J]. 中国激光, 2016, 43(3): 0308002. Chen Ming, Xie Chengke, Yang Baoxi, Huang Huijie. Development of Device for High-Precision Deep Ultraviolet Optical Transmittance Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(3): 0308002.

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