准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究

罗艳

doi:doi:10.3788/lop53.121403

激光与光电子学进展, 2016, 53 (12): 121403, 网络出版: 2016-12-14

准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究

Interaction Between Excimer Laser and SiC Ceramic

罗艳 ^1,2,*

作者单位

¹ 中国科学院光电研究院, 北京 100094

² 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094

基本信息

DOI:	10.3788/lop53.121403
中图分类号:	TN23;O439
栏目:	激光器与激光光学
项目基金:	国家科技重大专项(2012ZX02702001)
收稿日期:	2016-06-17
修改稿日期:	2016-08-17
网络出版日期:	2016-12-14
通讯作者:	罗艳 (luoyan@aoe.ac.cn)
备注:	--

罗艳. 准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究[J]. 激光与光电子学进展, 2016, 53(12): 121403. 罗艳. Interaction Between Excimer Laser and SiC Ceramic[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2016, 53(12): 121403.