激光与光电子学进展, 1986, 23 (9): 44, 网络出版: 2013-07-26
用激光进行超精密测量
摘要
据日立中心研究实验室报告，用激光可以测量小到0.0001微米的尺寸差，测量装置比现有系统更小、耗电更省。
Abstract
张正泉. 用激光进行超精密测量[J]. 激光与光电子学进展, 1986, 23(9): 44. 张正泉. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1986, 23(9): 44.
张正泉. 用激光进行超精密测量[J]. 激光与光电子学进展, 1986, 23(9): 44. 张正泉. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1986, 23(9): 44.
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