中国激光, 1989, 16 (5): 263, 网络出版: 2012-08-13
激光烧蚀刻蚀过程的实时监测技术研究
Investigation on realtime monitoring technique for laser ablative process
摘要
提出了一种简单而有效的监测激光烧蚀方法.展示了等离子体发光强度-时间曲线用于激光烧蚀刻蚀过程实时监测的良好前景.
Abstract
潘大任. 激光烧蚀刻蚀过程的实时监测技术研究[J]. 中国激光, 1989, 16(5): 263. Pan Daren. Investigation on realtime monitoring technique for laser ablative process[J]. Chinese Journal of Lasers, 1989, 16(5): 263.
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