极紫外相机电控单元检测系统的设计与实现

王永成

doi:doi:10.3788/yjyxs20142906.0275

液晶与显示, 2015, 30 (2): 275, 网络出版: 2015-04-14

极紫外相机电控单元检测系统的设计与实现

Design and implement of test system for extreme ultraviolet camera electronic control unit

王永成 ^*

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033

补充材料

王永成. 极紫外相机电控单元检测系统的设计与实现[J]. 液晶与显示, 2015, 30(2): 275. WANG Yong-cheng. Design and implement of test system for extreme ultraviolet camera electronic control unit[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2015, 30(2): 275.