山东理工大学 现代光电技术研究所,山东 淄博 255049
在分析四象限位置敏感器件（4QPSD）结构及特点的基础上，利用该器件作为核心探测器，设计了一种光电探测系统，对高分辨率横向位移的探测进行了研究。系统主要包括LED光发射、光接收、信号处理和显示等部分。LED发射的光束经聚焦透镜汇聚后射向反射镜，反射光聚焦到一个4QPSD上，经线性化的信号处理电路处理后，可实现高分辨率横向位移的测量。实验证明：横向位移测量稳定性与精度与测量距离无关，系统的误差主要来自反射镜反射的非均匀性。
四象限位置敏感探测器 高分辨率 横向位移 反射光聚焦 非线性 fourquadrant position sensitive detector highresolution lateral displacement focusing the reflected light nonlinearity
山东理工大学 现代光电技术研究所, 山东 淄博 255049
阐述了半导体光电位置敏感器件双层结构、特点, 在此基础上, 利用三层前置反馈网络对光电位置敏感器件的空间非线性以及畸变产生的机理进行了分析, 尤其是对在位置敏感器件边缘的非线性作了分析研究; 提出了一种适于位置敏感器件的敏感前置放大器电路和产生双极脉冲的分光滤波器; 通过实验模拟, 验证了上述理论和方法的正确性, 并对双层结构的位置敏感器件在精密探测中的应用作了展望。
双层光电位置敏感器件 三层前置反馈网络 双极脉冲滤波 空间非线性 畸变 duo-lateral position sensitive detector three-layer feedforward network bipolar pulse filter spatial non-linearity distortion
