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The Transplant of Technology of Capacitive Displacement Transducer to Phase Modulation Grating-the Research of the Grating with nm Measuring Resolution
Zhang Zengyao 1,*Wang Wei 2Jin Ning 2
作者单位
摘要
1 Metrology Technique Engineering College, China Institute of Metrology, Hang Zhou, P. R. China
2 Information Engineering College, China Institute of Metrology, Hang Zhou, P. R. China
PDF全文 Full Text
光学学报
2003, 23(s1): 835
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