1 电子科技大学物理电子学院， 四川 成都610054
2 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室， 四川 成都 610209
传统透镜由于其体积大、性能差等因素的制约，使其在微纳光学系统中的应用遇到挑战。金属纳米结构能够耦合自由光波产生表面等离子体激元，通过控制表面等离子体激元来实现对入射光波的调控。V形等离子体纳米天线凭借其双共振效应以及 0~2π的全相位调谐范围，使其在可以实现光束调控的金属纳米结构中脱颖而出。首先基于V形纳米天线设计了可以在34 μm处高效聚焦的超透镜；接着利用聚焦电子束和光刻工艺制备样品；最后对样品进行表征分析与光学检测。这些工作将促进V形纳米天线在激光直写、光学集成方面的应用。
表面光学 表面等离子体 V形纳米天线 光束调控 电子束
