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相同关键词【arrayed conical micro-holes】论文列表

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激光器与激光光学

CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究

王鹏 ^*张凤林刘文广欧阳承达

作者单位

摘要

广东工业大学机电工程学院, 广东广州 510006

采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工，研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现，激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明显。随着激光脉宽的增加，微孔深度和出口直径均增加，但微孔锥度减小。

激光技术阵列锥形微孔光纤激光 CVD金刚石薄膜微细加工

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激光与光电子学进展

2016, 53(11): 111402

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