利用几何光学原理, 设计了一套应用于大功率CO2激光陶瓷烧结的均束装置。采用光波导进行均束, 分光镜进行分光, 使得此装置可以应用于陶瓷的双面烧结。其中, 光波导为长200 mm, 横截面为10 mm×10 mm的中空柱形。采用两块呈一定夹角的平面镜组成分光镜。经模拟, 该装置均束效果良好, 基本不受原始激光束光斑质量的影响。用傅里叶光学对光学系统进行分析, 讨论了增加光斑均匀性的方法。由于所有元件都采用反射型, 能量损失低, 光路校正方便, 符合大功率CO2激光器使用要求。
光学设计 激光均束 光波导 分光镜
1 北京工业大学国家产学研激光技术中心， 北京 100022
2 云南省昆明物理所， 云南 昆明 650223
理论设计了一种反射型正交双带式积分镜均束装置，委托加工出实物，并搭建了实验装置。通过观察，该装置对实验用大功率CO2激光器光束达到了一定的均束效果，但同时均束得到的光斑光强分布出现了分裂现象，对其产生原因进行了分析。最后用均束后得到的光束对Ta2O5陶瓷进行了激光烧结实验，证明烧结效果得到了改善。
激光技术 均束 大功率激光 激光烧结陶瓷
北京工业大学国家产学研激光技术中心, 北京 100022
利用几何光学原理和轴外像差理论,设计一种应用于大功率CO2激光陶瓷烧结实验的反射型正交双带式积分镜均束装置。经模拟,该装置均束效果良好,基本不受原始激光束光斑质量的变化影响;并且因为所有光学元件都属于反射型镜面,光能利用率高,水冷方便,符合大功率CO2激光器的使用要求。
几何光学 激光均束 积分镜 正交双带式 轴外像差
